|
| US4335338 | 1980年6月30日 | 1982年6月15日 | Xynetics, Inc. | Linear motor |
| US4420714 | 1981年10月2日 | 1983年12月13日 | Polaroid Corporation | Apparatus for continuously incrementing an output member |
| US4458227 | 1982年4月12日 | 1984年7月3日 | Polaroid Corporation | Electromagnetic actuators |
| US4506204 | 1983年6月10日 | 1985年3月19日 | The Perkin-Elmer Corporation | Electro-magnetic apparatus |
| US4506205 | 1983年6月10日 | 1985年3月19日 | The Perkin-Elmer Corporation | Electro-magnetic alignment apparatus |
| US4507597 | 1983年6月10日 | 1985年3月26日 | The Perkin-Elmer Corporation | Electro-magnetic alignment assemblies |
| US4535260 | 1984年10月15日 | 1985年8月13日 | Teleflex Incorporated | Magnetic linear motor |
| US4536690 | 1982年10月19日 | 1985年8月20日 | Calspan Corporation | Tool-supporting self-propelled robot platform |
| US4622609 | 1984年5月4日 | 1986年11月11日 | | Read/write head positioning apparatus |
| US4628238 | 1985年6月5日 | 1986年12月9日 | U.S. Philips Corporation | Positioning device comprising pre-stressed contactless bearings |
| US4654571 | 1985年9月16日 | 1987年3月31日 | | Single plane orthogonally movable drive system |
| US4719381 | 1985年8月21日 | 1988年1月12日 | The Curators of the University of Missouri | Electrical machines and apparatus for rotation around multiple axes |
| US4893071 | 1988年5月24日 | 1990年1月9日 | American Telephone and Telegraph Company, AT&T Bell Laboratories | Capacitive incremental position measurement and motion control |
| US4952858 | 1988年5月18日 | 1990年8月28日 | | Microlithographic apparatus |
| US4958115 | 1988年11月28日 | 1990年9月18日 | AT&T Bell Laboratories | Capacitively commutated brushless DC servomotors |
| US5247608 | 1991年4月1日 | 1993年9月21日 | AT&T Bell Laboratories | Method and apparatus for achieving dynamic path control of multiple robots |
| US5528118 | 1994年4月1日 | 1996年6月18日 | Nikon Precision, Inc. | Guideless stage with isolated reaction stage |
| US5623853 | 1994年10月19日 | 1997年4月29日 | Nikon Precision Inc. | Precision motion stage with single guide beam and follower stage |
| US5744924 | 1996年6月20日 | 1998年4月28日 | Nikon Corporation | Guideless stage with isolated reaction frame |
| US5760564 | 1995年6月27日 | 1998年6月2日 | Nikon Precision Inc. | Dual guide beam stage mechanism with yaw control |
| US5808382 | 1996年1月4日 | 1998年9月15日 | Toshiba Kikai Kabushiki Kaisha | Linear motor device for machine tool |
| US5828142 | 1997年8月22日 | 1998年10月27日 | MRS Technology, Inc. | Platen for use with lithographic stages and method of making same |
| US5841207 | 1995年10月16日 | 1998年11月24日 | Pasim Mikrosystemtechnik GmbH | Modular two-coordinate planar motor |
| US5874820 | 1995年4月4日 | 1999年2月23日 | Nikon Corporation | Window frame-guided stage mechanism |
| US5942871 | 1996年4月2日 | 1999年8月24日 | Nikon Corporation | Double flexure support for stage drive coil |
| US5982128 | 1998年2月4日 | 1999年11月9日 | Nikon Corporation | Lithography apparatus with movable stage and mechanical isolation of stage drive |
| US5996437 | 1997年2月11日 | 1999年12月7日 | Nikon Corporation | Precision motion stage with single guide beam and follower stage |
| US6008500 | 1999年5月27日 | 1999年12月28日 | Nikon Corporation | Exposure apparatus having dynamically isolated reaction frame |
| US6020710 | 1999年5月26日 | 2000年2月1日 | Nikon Corporation | Exposure method, and method of making exposure apparatus having dynamically isolated reaction frame |
| US6049186 | 1998年7月31日 | 2000年4月11日 | Nikon Corporation | Method for making and operating an exposure apparatus having a reaction frame |
| US6087797 | 1999年5月25日 | 2000年7月11日 | Nikon Corporation | Exposure method, and method of making exposure apparatus having dynamically isolated reaction frame |
| US6097114 | 1998年8月17日 | 2000年8月1日 | Nikon Corporation | Compact planar motor having multiple degrees of freedom |
| US6144118 | 1998年9月18日 | 2000年11月7日 | General Scanning, Inc. | High-speed precision positioning apparatus |
| US6147421 | 1998年11月16日 | 2000年11月14日 | Nikon Corporation | Platform positionable in at least three degrees of freedom by interaction with coils |
| US6150787 | 1999年5月26日 | 2000年11月21日 | Nikon Corporation | Exposure apparatus having dynamically isolated reaction frame |
| US6151105 | 1999年5月27日 | 2000年11月21日 | Nikon Corporation | Exposure apparatus having dynamically isolated support structure |
| US6175404 | 1999年5月27日 | 2001年1月16日 | Nikon Corporation | Exposure apparatus having dynamically isolated reaction frame |
| US6188147 | 1998年10月2日 | 2001年2月13日 | Nikon Corporation | Wedge and transverse magnet arrays |
| US6188195 | 1999年5月26日 | 2001年2月13日 | Nikon Corporation | Exposure method, and method of making exposure apparatus having dynamically isolated support structure |
| US6208045 | 1998年11月16日 | 2001年3月27日 | Nikon Corporation | Electric motors and positioning devices having moving magnet arrays and six degrees of freedom |
| US6246202 | 1998年11月12日 | 2001年6月12日 | Nikon Corporation | Method of making exposure apparatus with dynamically isolated reaction frame |
| US6246204 | 1999年3月2日 | 2001年6月12日 | Nikon Corporation | Electromagnetic alignment and scanning apparatus |
| US6252234 | 1998年8月14日 | 2001年6月26日 | Nikon Corporation | Reaction force isolation system for a planar motor |
| US6252370 | 2000年1月14日 | 2001年6月26日 | Nikon Corporation | Electromagnetic alignment and scanning apparatus |
| US6255795 | 2000年1月13日 | 2001年7月3日 | Nikon Corporation | Electromagnetic alignment and scanning apparatus |
| US6255796 | 2000年1月13日 | 2001年7月3日 | Nikon Corporation | Electromagnetic alignment and scanning apparatus |
| US6271640 | 1999年11月10日 | 2001年8月7日 | Nikon Corporation | Exposure apparatus having reaction frame |
| US6281654 | 1999年5月13日 | 2001年8月28日 | Nikon Corporation | Method for making apparatus with dynamic support structure isolation and exposure method |
| US6316901 | 2001年4月18日 | 2001年11月13日 | Nikon Corporation | Exposure apparatus and method utilizing isolated reaction frame |
| US6323935 | 2000年1月14日 | 2001年11月27日 | Nikon Corporation | Electromagnetic alignment and scanning apparatus |
| US6329780 | 2000年1月14日 | 2001年12月11日 | Nikon Corporation | Electromagnetic alignment and scanning apparatus |
| US6445093 | 2000年6月26日 | 2002年9月3日 | Nikon Corporation | Planar motor with linear coil arrays |
| US6452292 | 2000年6月26日 | 2002年9月17日 | Nikon Corporation | Planar motor with linear coil arrays |
| US6661125 | 2001年11月2日 | 2003年12月9日 | Shinano Electronics Co., Ltd. | Linear motor |
| US6683433 | 2001年9月28日 | 2004年1月27日 | Nikon Corporation | Exposure apparatus and method utilizing isolated reaction frame |
| US6693402 | 2001年10月16日 | 2004年2月17日 | Nikon Corporation | Electromagnetic alignment and scanning apparatus |
| US6744228 | 2000年7月11日 | 2004年6月1日 | GSI Lumonics Corp. | High-speed precision positioning apparatus |
| US6747732 | 2003年7月2日 | 2004年6月8日 | Nikon Corporation | Method of making exposure apparatus with dynamically isolated reaction frame |
| US6841965 | 2001年6月15日 | 2005年1月11日 | Nikon Corporation | Guideless stage with isolated reaction stage |
| US6844695 | 2003年3月27日 | 2005年1月18日 | Nikon Corporation | Electromagnetic alignment and scanning apparatus |
| US6844696 | 2003年3月27日 | 2005年1月18日 | Nikon Corporation | Electromagnetic alignment and scanning apparatus |
| US6927840 | 2004年5月7日 | 2005年8月9日 | Nikon Corporation | Positioning device having dynamically isolated frame, and lithographic device provided with such a positioning device |
| US6949844 | 2003年12月29日 | 2005年9月27日 | GSI Group Corporation | High-speed precision positioning apparatus |
| US6969966 | 2004年10月28日 | 2005年11月29日 | Nikon Corporation | Electromagnetic alignment and scanning apparatus |
| US6989647 | 1999年11月26日 | 2006年1月24日 | Nikon Corporation | Positioning device having dynamically isolated frame, and lithographic device provided with such a positioning device |
| US7012398 | 2004年11月15日 | 2006年3月14日 | Nikon Corporation | Electromagnetic alignment and scanning apparatus |
| US7230355 | 2004年12月21日 | 2007年6月12日 | Baldor Electric Company | Linear hybrid brushless servo motor |
| US7365513 | 1999年11月26日 | 2008年4月29日 | Nikon Corporation | Positioning device having dynamically isolated frame, and lithographic device provided with such a positioning device |
| US7566997 | 2007年3月30日 | 2009年7月28日 | Baldor Electric Company | Gas bearing system |
| US7573225 | 2005年8月25日 | 2009年8月11日 | Nikon Corporation | Electromagnetic alignment and scanning apparatus |
| USRE40774 | 2002年11月12日 | 2009年6月23日 | ASML Netherlands B.V. | Positioning device with a vibration-free object table, and lithographic device provided with such a positioning device |
| USRE41232 | 2004年6月24日 | 2010年4月20日 | Nikon Corporation | Wafer positioner with planar motor and mag-lev fine stage |
